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潔凈環(huán)境搬運(yùn)系統(tǒng)
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液晶面板及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對生產(chǎn)制造、搬送存儲過程中環(huán)境的潔凈度要求非常高,公司研發(fā)了一系列潔凈環(huán)境專用設(shè)備,包括液晶面板垂直輸送機(jī)、液晶面板移載輸送機(jī)、半導(dǎo)體晶圓盒垂直輸送機(jī)、半導(dǎo)體晶圓前端模塊等。

液晶面板移載輸送機(jī)

液晶面板垂直輸送機(jī)

潔凈升降機(jī)是液晶行業(yè)潔凈車間跨樓層所需的垂直輸送系統(tǒng),通過LFC及PLC控制轎廂升降,實(shí)現(xiàn)液晶面板存儲單元跨樓層搬運(yùn)。

1.升降輸送速度:0~90m/min

2.升降輸送加速度:0.5m/s2

3.最?載重:1500kg

4.設(shè)備震動系數(shù):0.3g

5.設(shè)備使?環(huán)境:Class10-10000

LUL串接液晶?板??的物料儲存與搬送,通過BC技術(shù)控制機(jī)器?將基板從儲存單元取出?移載機(jī)并輸送到各個(gè)制程。

1.裝載卡匣:20~30s

2.退卸卡匣:15~20s

3.最?載重:2000kg

4.設(shè)備震動系數(shù):0.3g

5.設(shè)備使?環(huán)境:Class10-10000

半導(dǎo)體晶圓盒垂直輸送機(jī)

半導(dǎo)體晶圓前端模塊

該產(chǎn)品主要應(yīng)?于半導(dǎo)體?業(yè)晶圓盒的跨樓層垂直搬送環(huán)節(jié),占地?積?,成本相較于Tower STK更有優(yōu)勢。

1.升降輸送速度:0~90m/min

2.升降輸送加速度:0.5m/s2

3.最?載重:50kg

4.設(shè)備震動系數(shù):0.3g

5.設(shè)備使?環(huán)境:Class10-10000

該產(chǎn)品?于半導(dǎo)體?業(yè)晶圓揀選環(huán)節(jié),集成晶圓?

動尋邊、?精度CCD對位、FOUP?動拆蓋、晶圓?動Mapping及多模式混合排列等功能。

1.晶圓盒開蓋:20~25s

2.晶圓盒關(guān)蓋:10~15s

3.最?載重:30kg

4.經(jīng)過OCR傳?能?:330WPH

5.設(shè)備使?環(huán)境:Class10-10000


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